i線露光装置として最高水準の生産性と重ね合わせ精度を実現

アライメント・露光・ウエハー搬送シーケンスの最適化によるウエハー処理時間の短縮と、計測・キャリブレーション処理の高速化によるウエハーロット交換時間の短縮で、同等クラスのi線露光装置として最高水準の生産性（ウエハー処理能力）^※1を実現しております。

キヤノン独自の技術であるショットの縦横倍率差とskew（スキュー）成分^※2を補正出来る、ショット形状補正機能「SSC（Shot Shape Compensator）」を投影光学系に搭載する事で、露光領域を一括で露光するステッパーでありながら、ショットごとに下地レイヤーの形状に合わせて、重ね合わせ露光をすることで、実プロセスでの重ね合わせ精度の向上を実現しております。

※1　1同等クラスのi線ステッパーにおいて、2016年12月14日現在（キヤノン調べ）。
　　　スループットは、従来機「FPA-5550iZ」の初号機と比較して約20%向上（露光条件：300mmウエハー、96ショット、1000J/m2において）。
※2　斜め方向のショットひずみ。

ロジック/メモリー/イメージセンサー向けに多様なソリューションで対応

安定稼働で定評がある「FPA-5550iZ」のプラットフォームに「生産性向上」「重ね合わせ精度向上」「カラーフィルタープロセス対応」などのオプション選択が可能で、多様なデバイスプロセスに柔軟に対応できます。