小さなサイズ (直径Φ36mm)、高分解能 (81,000パルス), オープンコレクター出力

- 直径36mm、重量80gのコンパクトサイズ
- 81,000パルス／1回転、16秒／パルス（電気分割含まず）の高分解能
- Open collector 出力
- 500kHz（360rpm）の高速応答
- キヤノン光学微細加工のガラスチャートを採用

特長

- 高精度スケールの採用と回折光干渉方式により、小型・高精度を実現しました。
- グレーティングディスクの回転中心に対し、対称な2箇所にレーザ光を入射し高精度を保証しました。
- 新方式の反射光学系により、レーザーの波長変動による精度の影響を受けません。

原理

図のようにグレーティングディスクの回転中心に対し、点対称な2点にレーザ光を入射すると、レーザ光はグレーティングディスクにより回折されます。 この回折光の片側は＋1次の回折光を、もう一方の側は－1次回折光を利用します。 左右各々の±1次回折光は、グレーティングディスクの1ピッチ回転により、位相が各々±2π変化します。 この±1次の回折光を左右のミラーで反射させグレーティングディスクに往復に入射させると、位相は±4π変化します。 この往復±1次1回折光を干渉させることにより4周期の明暗変化になり、グレーティングディスクの1ピッチ回転で4個の正弦波信号が得られます。

応用例

- ロボットアームの角度制御
- NCマシン用センサー
- 低速回転時のモータースピード制御
- 計測器用角度センサー