製品概要

精密加工、高速加工、精密計測技術のキーコンポーネントとして開発されたキヤノン エアベアリンング（静圧空気軸受）は自己潤滑作用を持つカーボン系材料による多孔質絞りの採用により、一般的にエアベアリングの弱みであったかじり付きトラブルを大幅に減少させると同時に業界トップクラスの高い回転精度と高剛性を実現しております。 また非接触のためクリーンで半永久的に使用可能です。

おもな特長

1. 高い回転精度をラジアル、アキシャル共に有し、またその回転精度は非接触軸受のため半永久的です。
- ラジアル回転精度 0.05μm以下
- アキシャル回転精度 0.05μm以下
2. かじり付きを大幅に減少させます。
- カーボン系多孔質空気絞りを採用し、予期せぬ過負荷やエア圧力不足などのトラブル時に摺動面の損傷を防ぎます。
3. 高い剛性と高負荷容量を実現しています。
- 多孔質空気絞りは微小な給気孔が無数にあることから、広範囲で均一な圧力が得られ、他の空気絞りと比較し、高い剛性と減衰特性に優れます。
4. 低消費流量を実現しています。
- 他の空気絞り方式と比較しエア消費流量が少なく、クリーンエアー供給システムを小型にできるなど省エネ運転が可能となります。
5. クリーンな環境で使用ができます。
- 排気は空気のみです。オイルを潤滑剤に使用しないためクリーンルームでの使用も可能になります。
6. 豊富なラインアップを揃えお客さまのニーズに応えます。
- 小径サイズは30RH型から大型サイズは600R型までの10種類のサイズをご用意しています。

運動精度、再現性比較

Air Bearingの回転くらいは 0.05μm 以下で、Ball Bearingと比べて絶対的に高精度であることが分かります。 それに高精度を要求される時重要な再現性が 0.01μm以下であり、半永久的に維持が可能です。 Canon Air Bearingはベアリングに多孔質チョークを使って、通常の工場空気圧 (490kpa)でも汎用的に使って十分な剛性を得ることができるし、orificeチョークと自省チョークを利用したベアリングに比べ、単位面積当たりの剛性が高く、消費流量が 10倍近く少ないです。また、他のチョーク方式に比べ減衰能も高いという特徴を持っています。

応用例

- HDD、光Disk用 Spinstand
- Polygon Mirror などの検査装備
- 研削、切削などの工作機械用主軸
- 高精度の回転 Table、分割θテーブル

エアベアリング（小径サイズ）

RVタイプはバキューム仕様となります。排気口より吸引することでスラストプレート面で吸着機構が利用可能になります。

エアベアリング（大径サイズ）

負荷容量が大きくロータリー研削盤や円筒研削盤などの工作機械に広く利用されています。または大物・重量物向けの計測用回転テーブルとしても利用されています。