製品概要

半導体製造装置・ディスク製造装置などで培われた技術を継承した、高品質・省スペース設計の電子部品デバイス生産用スパッタリング装置です。 多彩なプロセスモジュールを搭載可能な全自動クラスター式装置です。

用途

電子部品生産用

特長

- カセット室とトランスファー室を標準装備（CtoC仕様）
- 良好な膜厚分布を実現
- 用途に応じて多彩なプロセスモジュールを搭載可能
- ロータリーマグネトロンカソードによる高いターゲット利用効率を実現