真空コンポーネント製品

POWER シリーズ クライオポンプ
高性能クライオポンプ 吸気口径8~12インチ(小型)

製品概要

POWERシリーズクライオポンプでは、真空装置の生産性や稼働率向上に寄与する再生・起動時間の短縮や高排気容量、また実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を向上させた高性能型のクライオポンプです。

用途

- 半導体製造装置(スパッタ装置、イオン注入装置)
- 電子部品製造装置
- 真空蒸着装置
- 真空炉、スペースチャンバ
- 加速器
- 各種高真空装置

特長

- ヒータレスで安全な高速再生を実現 - POWER起動と安定性(実用性に優れた起動特性と温度安定性) - 低振動 : 振動加速度の平均値は、従来に比べ約10分の1以下(当社比