製品概要

POWER^Ecoシリーズクライオポンプは省エネルギーの観点から、消費電力や冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型のクライオポンプです。

[重要] 輸出・移転・処分に関する注意
크クライオポンプ　P-226C（口径22インチ） は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出の許可が必要な貨物に該当します。日本国外に輸出する際は、外国為替および外国貿易法に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。

用途

- 半導体製造装置（スパッタ装置、イオン注入装置）
- 電子部品製造装置
- 真空蒸着装置
- 真空炉、スペースチャンバ
- 加速器
- 各種高真空装置

特長

1. 省エネ・省資源に有効　
消費電力、冷却水量：15 ～ 70 % 低減可能
2. 再生・起動時間の短縮
従来に比べて半分以下（当社比）
3. 排気性能の向上
実質的なアルゴン排気容量を1.5 ～ 4 倍と大幅に向上（当社比）