製品概要

熱フィラメントを使用しておらず堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)です。 高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現します。

用途

1Pa～超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応
・蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE
・SEM、SIMS、AES、XPS、各種表面/ガス/質量分析
・アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接
・加速器、サイクロトロン

特長

1. 優れた測定安定性
未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを削減
2. 高真空下での良好な機動性 未放電、放電遅れを解消
3. 簡易なメンテナンス
・メンテナンスは部品交換のみ

※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。