製品概要

大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。1台で広い圧力領域を測定可能です。 1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献します。

用途

超高真空～大気圧まで、各種真空測定に幅広く対応
(例)
エレクトロニクス・光学：蒸着、コーティング、電子ビームマスク描画、スパッタリング、イオン注入、MBE
分析：電子顕微鏡、SIMS、AES、XPS他、各種表面/ガス/質量分析
各種工業：アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接、冶金、分子蒸留、ガス充填
高エネルギー物理：加速器、サイクロトロン

特長

1. 優れた測定安定性
未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを削減
2. 高真空下での良好な機動性 未放電、放電遅れを解消
3. 簡易なメンテナンス
・メンテナンスは部品交換のみ

※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。