製品概要

キャパシタンスゲージ“M-342DG”は、圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用することで、温度、振動、気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。

用途

1. 真空中の圧力の高精度・長期間安定測定に幅広く対応
2. 半導体、ディスプレイ、太陽電池など各種真空装置
・スパッタリング、PECVDなどの真空成膜プロセス圧力の制御、モニタリング
・ロードロック室、ウエハ冷却などのガス導入プロセス、システムの圧力管理
3. 医療、バイオ、食品他各種産業、並びに各種研究開発用途
各種コーティング、プラズマ処理、真空封止、真空炉、分析装置、滅菌、真空ポンプ評価、分子蒸留　など

特長

1. 精度で安定した圧力測定
・優れたゼロ点安定性
・温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現
・優れた対振動ノイズ性能
2. コンパクト・低消費電力
・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト（※1）
・消費電力0.5W

※1　質量とサイズは、継ぎ手NW16仕様の場合