製品概要

低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュアB-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定できます。

用途

真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など

特長

1.クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
2. 超高真空から大気圧
3. 高精度、低真空領域において優れた再現性