真空計シリーズ
ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源のM-431HGは省スペース、軽量化タイプです。欧州、米国の安全規格に対応しました。
1. CEマーキング対応
2. 外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備
3. 入力電圧はワイド電圧(M-431HG)
4. 低消費電力/DC 24V入力
- 自動化真空装置の圧力測定
- スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
- マルチチャンバシステムでの圧力測定
- 一般真空装置の圧力測定