製品概要

M-833HGは、ミニチュアB-Aゲージ専用のコントロールユニットです。オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードが用意されています。ミニチュアB-AゲージとTCゲージ（オプション）のコンビネーション及び、ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。高真空～超高真空装置搭載に最適です。

特長

1. 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
2. セットポイントを2点標準装備
3. 最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性が充実
（注記：GP-IBオプションには未対応）
4. RoHS、CEマーキングに対応

用途

- 自動化真空装置の圧力計測
- スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
- マルチチャンバシステムでの圧力測定
- 一般真空装置の圧力測定