製品概要

多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた最も一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能やレンジホールド機能を標準で備えています。CC-Linkで通信制御を行えるタイプも用意してあります。 M-823HGで大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。

特長

1. 圧力レンジは自動切換
2. 圧力及び種々のメッセージが液晶表示
3. 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
4. セットポイントを2点標準装備

用途

- 自動化真空装置の圧力計測
- スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
- マルチチャンバシステムでの圧力測定
- 一般真空装置の圧力測定