製品概要

ミニチュアゲージは金属製の小型ゲージ球です。 到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力（1Pa台が測定可）までの圧力計測が1つのゲージで行なえます。ゲージアダプタ（O-リング差込み式）に接続するタイプ。（φ15mm、φ18mm） ＮＷ16・25、φ34ICF、φ70ICFタイプを揃えています。