大화각 렌즈를 탑재

투영배율의 변경(1:4 → 1:3.125)에 의해 Reticle size는 6 inch 그대로 대화각화를 실현하였습니다. 33mm x 42.2mm를 일괄 노광가능함으로서 full size CMOS Image sensor도 Stitching을 하지 않고, 하나의 Field로 노광가능한 세계에서 유일한 KrF Scanner 입니다.

실적이 있는 FPA-6300ES6a Platform을 유용

이미 반도체 제조 전공정 KrF Scanner에 채용되어 있고, 시장에서 호평을 받고 있는 FPA-6300ES6a를 전면적으로 유용하고 있어, FPA-6300ES6a와 동등한 가동율과 신뢰성을 실현하였습니다. 또한, 확장성이 있는 Platform이기 때문에, 생산성 및 Overlay 정도에 대한 현지 Retro도 가능한 up grade plan도 제공할 수 있습니다.