i line 노광장비 최고수준의 생산성과 중첩정도를 실현

Alignment/노광/Wafer 반송 Sequence의 최적화에 의한 Wafer 처리시간의 단축과 계측/Calibration처리의 고속화에 의한 Wafer Lot 교환 시간의 단축으로 동급 Class의 i line 노광장비에서 최고수준의 생산성(Wafer 처리능력)^※1을 실현하고 있습니다.

Canon 독자 기술인 Shot의 종횡배율차와 Skew 성분^※2을 보정가능한 Shot 형상 보정기능 「SSC(Shot Shape Compensator)」를 투영광학계에 탑재하였습니다. 노광영역을 일괄로 노광하는 stepper이면서, Shot별로 각 Layer의 형태에 맞춰서 중첩 노광함으로 실 Process에서의 중첩정도의 향상을 실현하고 있습니다.

※1　동급 Class i line Stepper. 2016年12月（Canon 조사).
　　　Through put은 종래기종 「FPA-5550iZ」의 첫호기와 비교하여 약 20%이상 (노광조건 : 300mm wafer, 96shot, 1000j/m2에서).
※2　경사방향의 shot 왜곡.

Logic/Memory/Image sensor를 위한 다양한 솔루션 대응

안정적인 가동장비로 인정받고 있는 「FPA-5550iZ」의 Platform에 「생산성 향상」, 「중첩 정도 향상」, 「Color Filter Process 대응」 등의 Option 선택이 가능하고, 다양한 Device Process에 유연하게 대응할 수 있습니다.