Non Critical Device 양산 Model i line Stepper「FPA-3030i5+」

- 100mm(4 inch) ~ 200mm(8inch) 폭넓은 Wafer size 대응
- 5 inch ~ 6 inch Reticle size 대응
- Long Seller FPA-3000 Platform에 의한 고신뢰성
- 高NA(0.63)에 의한 22mm 화면 size 일괄노광 가능

고해상도 i line Lens의 탑재

22mm x 22mm의 화각에 있어서, NA 0.63을 실현한 1:5 축소배율 투영 lens를 탑재하고 있는 i line Stepper. 350nm 이하의 해상력이 다양한 분야의 Device 양산을 지원합니다.

Longseller FPA-3000 Plateform에 의한 高신뢰성

1994년 FPA-3000i4 발매로부터 장기간에 걸쳐 많은 분들이 애용해주신 FPA-3000 Platform가 높은 신뢰성을 약속 드립니다. FPA-3030i5부터 채용한 6축 비접촉형의 wafer stage에 추가로 Focus System이 개선되어 높은 처리량을 실현하고 있습니다.

다양한 장비 사용환경에 대응한 반송계

100mm(4inch) ~ 200mm(8inch) 의 폭 넓은 Wafer Size에 대응가능한 Wafer 반송계와 5 inch / 6 inch Reticle에 대응한 Reticle 반송계가 고객 장비 사용 환경에 유연하게 대응합니다.