제6세대 Glass기판으로 고정세 Panel 생산

Smart Phone은 급속하게 고정세화가 진행 되어 보다 고정세 Panel의 요구가 많아 지고 있습니다. MPAsp-E813은 제 6세대 Glass기판（1500mm×1850mm）에서 고정세 Panel 생산을 실현 했습니다. 액정 Panel뿐만 아니라 유기 EL Panel 생산에 필수인 장비가 되고 있습니다.

세계 최고의 해상력

신 설계의 Mirror광학계와 조명계의 채용으로 MPAsp-E813H에서는 세계 최고 Level의 해상력1.5μm（L/S）, 2.0μm（C.H.）을 실현 했습니다. 이로 인해 800ppi（pixel per inch）를 초과하는 고정세 Panel의 생산이 가능해졌습니다.

Overlay정도의 향상

새로 탑재한 배율보정기구와 온조System으로 기존 장비보다 오차가 적은 Overlay를 실현 했습니다. 신 Alignment System을 적용하여 고속 및 고정세 계측이 가능해졌습니다.

고 생산성 ＆ 고 가동률

Stitch 얼룩이 없고 넓은 노광 Filed를 확보할 수 있는 일괄노광방식으로 고정세 Panel을 효율적으로 생산 할 수 있습니다. 본체 강성 Up에 따른 Stage정도 향상이 높은 가동률을 유지하고 있습니다. Option적용 시에는 보다 빠른 Tact up을 실현 합니다.

초박형 Glass기판에 대응

경량화 및 박형화가 요구되는 Smart Phone 등의 Mobile제품에서는 Glass기판의 박형화가 요구되고 있습니다. MPAsp-E813에서는 Glass기판 반송 기술의 향상으로 두께 0.3mm Glass기판 노광을 실현 하였습니다.