제8세대 GLS기판으로 고정세 패널 생산

우리들 주변에 흔히 있는 대화면 TV는 FHD에서 4K/8K과 화질의 향상으로 진화하고 있습니다. 더욱이 OLED TV를 비롯한 프리미엄 TV의 요구도 높아지고 있고, 고정세 패널로의 요구가 높아지고 있습니다. MPAsp-H1003T/H803T에서는 제8세대 GLS기판 (2200mm x 2500mm)으로, 고정세 대형 패널 생산을 실현하였습니다.

65인치형 패널의 일괄 노광의 실현

디스플레이 생산에 있어서 20년 이상 실적을 갖는 광학계 기본 컨셉을 지속적으로 답습, 캐논 독자적인 고정밀 광학 가공 기술을 적용함으로써, 대화면 고정세 TV의 생산에 대응한 해상력, 오버레이를 실현하고 있습니다. MPAsp-H1003T에서는 투영 광학계를 신규 개발함으로써 일괄 노광 영역을 확대하고, 65인치형 패널의 일괄 노광을 실현하였습니다. 아울러 해상력 2.0μm을 달성하고 있습니다.

Overlay 정밀도의 향상

MPAsp-H1003T에서는 제6세대 대응 노광장비인 「MPAsp-E813H」에서 실적이 있는 배율 보정 기술을 적용함으로써, 비선형 형상의 보정에도 대응 가능하게 되었습니다. 이에 따라 오버레이 정밀도 향상을 실현하였습니다.

Dual line대응에 의한 대형 패널 MMG^※

1대의 CVD장치에 대하여 FPD노광장치를 2대 배치하는 Dual line구성하는 것으로, 효율적인 MMG대응이 가능하게 되었습니다.

※ MMG : Multi module on Glass, 1매의 GLS기판위에 다양한 사이즈의 패널을 배치하는 방식, 이것으로 GLS기판의 사용 효율이 향상함)