개요

하드 디스크 자기 헤드의 GMR 헤드, TMR 헤드의 자성 박막 스퍼터링 장비로서 수많은 고객에게 납입 실적이 있는 HC7100 시리즈의 자성박막 기술과 반도체 메모리용 스퍼터링 장비로서 많은 고객에게 납입 실적 있는 IC7000 시리즈 (구모델명 I-1000시리즈)와의 아키텍쳐 통합으로 개발 된 스퍼터링 장비입니다. 비휘발성 메모리 (NVM)로서 주목받고 있는 MRAM 의 MTJ 소자를 형성하기 위한 다층막을 성막하는 장비이며 연구개발향부터 소량 생산향에 대응하고 있습니다.

용도

MRAM의 MTJ 소자 다층막 성막

특징

- 신규 스퍼터 기술인 LRP (Low Pressure Remote Plasma Sputtering) 의 도입으로 ±1％ 이하의 뛰어난 막두께 분포를 실현
- 통상 스퍼터 압력으로 한자리 수 낮은 0.02Pa에서의 저압 방전에 따른 매우 평탄한 저저항 막을 실현
- 초 고진공에 의한 높은 MR비를 실현
- 풍부한 성막 모듈 라인업 ( 다원 캐소드 사양)