개요

연구 개발 분야의 스퍼터링 장비는 특히 재료 개발등의 목적 용도에 따라 여러가지 기능이 요구됩니다. 본 장비는 캐논 아넬바의 풍부한 스퍼터링 기술과 경험을 바탕으로 이러한 요구에 폭넓게 대응 가능하도록 설계 한 저가격 소형 연구 개발용 스퍼터링 장비입니다.

용도

연구 개발용

특징

- 소형의 φ2인치 캐소드를 3기 탑재
- 고가 재료 및 소결체 재료등에 최적
- 3원 동시 성막 가능 (옵션)
- 오프셋 회전 성막과 정지 대향 성막이 겸용 가능
- 트레이 반송에 따른 다종 다양한 기판에 대응 가능
- 완전 자동화 된 배기 조작 (터치 패널 조작)
- 오픈 프레임에 다른 양호한 조작성
- 컴팩트 설계에 따른 작은 공간화를 실현