개요

풍부한 실적을 통해서 쌓아온 당사 진공 기술 및 스퍼터링 기술이 집약된 연구 개발용부터 소규모 생산용에 최적한 고성능 스퍼터링 장비입니다. 다채로운 옵션 기능의 라인업에 따른 고객 요망에 대응한 최적의 시스템으로 커스터마이즈 가능합니다.

용도

소규모 생산용

특징

- 로드락 스토커실과 트랜스퍼실을 표준 장비 (EB1100과 동일 성막실을 최대 2실까지 탑재 가능)
- 전자동 조작 (배기 조작, 기판 반송, 성막 프로세스를 전자동으로 처리 가능)
- φ4캐소드를 최대 4기 탑재 가능 (표준 3기)
- 동시 스퍼터 대응 가능 (옵션)
- 기판 고온 가열 (최고 800℃ ) 대응 가능 (옵션)
- 트레이 반송에 따른 다양한 기판 사이즈 (φ220mm 에리어내) 및 성막 방식 (오프셋 자전 성막, 정지대향 성막)에 대응 가능
- All In One 설계의 장비 본체에 따른 작은 공간을 실현