개요

다수매 Batch 처리 방식으로 LED 등의 소형 기판을 사용하는 분야에서 생산에 최적인 트레이 반송식 전자동 스퍼터링 장비입니다.

용도

LED 생산용 (ITO투명도전막, 메탈 전극막, 등)

특징

- 회전 성막에 의한 대면적에서의 양호한 막두께 분포가 확보되므로 트레이 방식에 의한 다수매 기판의 Batch처리가 가능
　φ2"기판×50매/Batch
　φ3"기판×25매/Batch
　φ4"기판×17매/Batch
　φ6"기판×8매/Batch
- 전자동 조작 (배기 조작, 기판 반송, 성막 프로세스를 전자동으로 처리 가능)
- φ7.1 캐소드 혹은 φ12.5 캐소드 를 최대 4기 탑재
- 로터리 마그넷 캐소드에 의한 높은 타겟 이용 효율을 실현
- 스퍼터실 증설 및 스토커 기구 증설등으로 용도 및 생산량등에 맞춘 장비 구성을 커스터마이즈 가능