개요

반도체 제조 장비・디스크 제조 장비등으로 쌓아온 기술을 계승한 고품질・적은 공간 설계의 전자 부품 디바이스 생산용 스퍼터링 장비입니다. 다채로운 프로세스 모듈을 탑재 가능한 전자동 클러스터식 장비입니다.

용도

전자부품 생산용

특징

- 카세트실과 트랜스퍼실을 표준 탑지 (CtoC사양)
- 양호한 막두께 분포를 실현
- 용도에 맞춘 다채로운 프로세스 모듈을 탑재 가능
- 로터리 마그네트론 캐소드에 의한 높은 타겟 이용률을 실현