개요

LED등의 소형 기판을 사용한 분야에서 생산에 최적인 트레이 방식을 채용하여 복수의 스퍼터실을 갖춘 다층막 형성도 가능한 클러스터식의 전자동 스퍼터링 장비입니다.

용도

LED 생산용 (ITO투명도전막, 메탈전극막, 등)

특징

- 회전 성막에 의한 대면적에서의 양호한 막두께 분포가 확보되므로 트레이 방식에 의한 다수매 기판의 Batch처리가 가능
　φ2"기판×50매/Btach
　φ3"기판×25매/Btach
　φ4"기판×17매/Btach
　φ6"기판×8매/Btach
　φ8"기판×4매/Btach
- 데미지레스 성막 (Long distance sputtering 240~340mm)
- 양호한 막균일성
- 양호한 타겟 이요 효율
- 적은 공간 (당사 종래기 30% 저감)