개요

각형 트레이를 1매씩 성막 에리어로 반송하여 단층막 및 다층막 (최대 3층)의 성막이 가능한 수평형 인라인식 스퍼터링 장비입니다.

용도

전자부품 생산용

특징

- 생산량에 맞춘 단면 성막 (Depo UP 혹은 Depo DOWN) 과 양면 성막을 선택 가능
- 최대 3기 (단면) 의 캐소드를 탑재하여 적층막에 대응 가능
- 스토커실에 최대 25매의 트레이를 수납 가능
- 예비 가열실 (전처리용)을 증설 가능 (옵션)