진공 컴포넌트
Power 시리즈 크라이오 펌프
고성능 크라이오 펌프 흡기 구경 8~12인치 (소형)
개요
POWER 시리즈 크라이오 펌프는 진공 장치의 생산성 및 가동률 향상에 기여하는 재생・기동 시간의 단축 및 고배기용량, 또한 실용적인 배기 성능 및 멀티 운전에서의 온도 안정성을 향상시킨 고성능형 크라이오 펌프 입니다.
용도
- 반도체 제조 장치 (스퍼터 장치, 이온 주입 장치) - 전자 부품 제조 장치 - 진공 증착 장치 - 진공로, 스페이스 챔버 - 가속기 - 각종 고진공 장치
특징
- 히터레스로 안전한 고속 재생을 실현 - POWER 기동과 안전성 (실용성에 뛰어난 기동 특성과 온도 안전성) - 저진동 : 진동 가속도의 평균치는 종래에 비교하여 약 10분의 1이하(당사비교)
