개요

POWER 시리즈 크라이오 펌프는 에너지 세이빙 관점에서 소비 전력 및 냉각수양 저감을 목적으로서 개발된 고성능 에너지 절약형 크라이오 펌프입니다.

[중요] 수출・이전・처분에 관한 주의
크라이오펌프 P-226C(구경 22인치)는 외국환 및 외국 무역범 규정에 따라 수출 허가가 필요한 화물에 해당합니다. 일본 국외에 수출하는 경우는 외국환 및 외국 무역법에 따른 규정이 필요하므로 폐사에 문의주십시오. 또한, 국내 이전, 처분시에도 이전, 처분처에 유의 바랍니다.

용도

- 반도체 제조 장치 (스퍼터 장치, 이온 주입 장치)
- 전자 부품 제조 장치
- 진공 증착 장치
- 진공로, 스페이스 챔버
- 가속기
- 각종 고진공 장치

특징

- 에너지 절약・자원 절약에 유효 : 소비전력, 냉각수량 : 15~70 % 저감 가능
- 재생・기동시간의 단축 : 종래에 비교하여 절반 이하 (당사비)
- 배기성능의 향상 : 실질적인 아르곤 배기 용량을 1.5~4배로 큰폭 향상 (당사비)