개요

M-080QA-HPM은 10^-9 Pa~1.3Pa의 넓은 범위에서 동작 가능한 사중 극형 질량 분석계입니다. 독자 기술로 초고진공과 스퍼터링 프로세스 중의 압력 영역을 동일 계측기로 측정 가능합니다. 성막 중의 가스를 감시 가능하므로 가스 이상・리크등의 불합리를 검지하여 프로세스 이상에 의한 제품 불량을 미연에 방지하는것이 가능합니다.

용도

- 성막 중의 품질 관리 - 잔류 가스 분석 - 리크 체크

특징

- 챔버 도달 압력부터 스퍼터 프로세스 압력까지를 심레스로 측정
- 성막중에 고감도로 수소를 검출 가능
- 멘테넌스 사이클이 길며 낮은 런닝 코스트
- 다양한 알람 기능으로 생산 중에 이상을 검출