개요

M-101QA-TDF, M-101/201QA-TDM은 고감도・고기능으로 낮은 가스 방출을 실현한 PC제어 전용의 사중극형질량분석계입니다. M-070QA-TDF는 각종 진공 장치의 잔류 가스 모니터에 최적인 저가격버전 입니다.

용도

- 잔류 가스 모니터
- 가속기등의 진공 모니터
- 무기 가스 분석
- 승온 이탈 가스 분석

특징

- 고감도 : 검출기에 2차 전자 증배관을 사용 (M-101/201QA-TDM)
- 낮은 가스 방출 분석관 : 낮은 가스 방출 이온원을 채용, Degas 기능 있음^※1
- 뛰어난 기본 성능 -고도의 분석에 대응- : 이온화 전압, 이미션 전류의 세부 설정이 가능^※1, 넓은 다이내믹 레인지
※ 1 : M-070QA-TDF는 대상외