개요

질량수 1~410m/z까지 측정이 가능한 고성능・고기능의 사중극형질량분석계입니다. M-401QA-MGSY/MUSY는 범용형 질량분석계로서 10배(당사비)의 고속 측정을 실현하였습니다.

용도

- 가속기 진공 가스 모니터
- 무기 가스 분석
- 열천칭 방출 가스 분석
- 승온 이탈 가스 분석
- 미량 가스 분석
- PFC 가스 분석

특징

1. 고속 측정 대응 (M-401QA-MGSY/MUSY)
　M/e=1~400m/z를 1초간격으로 데이터 취득
2. 2종류의 이온원
　UHV형 (바구니형), 가스 도입형 (상자형)의 선택이 가능
3. 고감도 (M-401QA-MGHY/MUHY)
　8자리의 다이내믹 레인지
4. 낮은 가스 방출 분석관
　낮은 가스 방출 이온원을 채용, Degas 기능 보유