개요

사중극형질량분석계의 응용 기술 제품입니다. 각종 가스 분석, 연구 개발 분야에 있어서 최적의 가스 분석 시스템입니다. 용도에 맞추어 사중극형질량분석계에 TMP 배기계와 옵션 조합이 가능한 유연한 구성으로 이루어져 있습니다.

용도

- 진공 장치 잔류 가스 분석
- 열천칭 방출 가스 분석
- 승온 이탈 가스 분석
- 로내의 가스 분석, 모니터링
　진공 열처리로, 진공 침탄로, 진공 침질로, 금속 용해로, 바이오가스화로
　전자빔식 용해로 (EB로), 웨이퍼 성장로 등
- 밀봉 가스 분석 등

특징

1. 커스터마이즈 시스템
- 용도에 맞추어 사중극형질량분석계, 가스도입계, 그외 옵션을 조합한 시스템업 가능
- 분석계는 M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M(고감도/고속)의 5종류에서 선택 가능
2. 소형, 작은 공간
- 소형 거치대에 사중극형질량분석계, TMP 배기계를 탑재한 컴팩트한 구조
3. 용이한 조작성
- PC 제어에 의한 용이한 측정이 가능