개요

열 필라멘트를 사용하지 않으며 견고한 콜드 캐소드게이지 (냉음극 전리 진공계)입니다. 고진공에서 초고진공까지 안정된 압력측정을 실현합니다.

용도

- 1Pa~초고진공까지 각종 진공 측정에 폭넓게 대응
- 증착, 스퍼터링, 이온 주입, MBE
- SEM, SIMS, AES, XPS, 각종 표면/가스/질량 분석
- 언닐, 용해, 납땜, 리플로, 경화, 전자빔 용접
- 가속기, 사이클로트론

특징

1. 뛰어난 측정 안정성
- 미방전에 의한 측정정지, 압력표시치의 불량률 저감
2. 고진공 속에서 양호한 기동성
- 미방전, 방전 지연 해소
3. 간단한 유지보수
- 콜드 캐소드의 유지보수는 부품교환뿐
※수소나 산소라고 하는 활성가스의 분압이 높은 환경이나, 이러한 가스를 대량으로 사용하는 환경에서는, CC게이지의 방전 개시가 현저하게 늦어지는 경우가 있습니다. 그러한 환경에서 사용하실 경우에는 폐사와 상담해 주십시오.