개요

대기압~중진공을 측정하는 피라니게이지와, 고진공~초고진공을 측정하는 콜드 캐소드 게이지를 조합한 콤비네이션 게이지입니다. 1대로 넓은 압력 영역을 측정 가능합니다. 1대로 2역활을 하여 시스템의 코스트 다운이나 관리 부하 저감에 공헌합니다.

용도

초고진공 대기압까지 각종 진공측정에 폭넓게 대응
(예)
- 일렉트로닉스·광학: 증착, 코팅, 전자빔마스크 묘화, 스패터링, 이온주입, MBE
- 분석: 전자현미경, SIMS, AES, XPS 외 각종 표면/가스/질량 분석
- 각종 공업:언닐,용해,땜,리플로,경화,전자빔용접,야금,분자증류,가스충전
- 고에너지 물리: 가속기, 사이클로트론

특징

1. 뛰어난 측정 안정성
- 피라니와 콜드 캐소드의 전환불량, 미방전에 의한 측정정지, 압력표시치의 불량률 저감.
2. 뛰어난 대기압 검출을 실현
- 본 기계의 탑재되어있는 피라니게이지는 대기압 부근에서 안정성·재현성이 높고, 응답성은 격막 진공계와 동등.
3. 간단한 유지보수
- 콜드 캐소드의 유지보수는 부품교환뿐
※수소나 산소라고 하는 활성가스의 분압이 높은 환경이나, 이러한 가스를 대량으로 사용하는 환경에서는, CC게이지의 방전 개시가 현저하게 늦어지는 경우가 있습니다.그러한 환경에서 사용하실 경우에는 폐사와 상담해 주십시오.