트랜스형 진공 게이지 시리즈

캐패시턴스 게이지 M-342DG

개요

캐패시턴스 게이지"M-342DG"는 압력 센서부에 새 개발의 소형 실리콘 MEMS칩을 사용함으로써 온도, 진동, 기압 변동 등 외부 환경으로부터 받는 영향을 최소화하며 고정도로 안정된 압력 측정, 최소한의 영점 조정의 빈도를 실현한 격막 진공계입니다.

용도

진공중 압력의 고정밀도·장기 안정 측정에 폭넓게 대응
반도체, 디스플레이, 태양전지 등 각종 진공장치.
스퍼터링, PECVD 등의 진공성막 프로세스 압력의 제어, 모니터링
로드락실, 웨이퍼 냉각 등의 가스 도입 프로세스, 시스템의 압력 관리
의료, 바이오, 식품 외 각종 산업 및 각종 연구개발 용도
각종 코팅, 플라즈마 처리, 진공봉지, 진공로, 분석장치, 멸균, 진공펌프평가, 분자증류 등

특징

1. 고정밀도로 안정된 압력측정
- 뛰어난 제로점 안정성
- 온도 의존성이 낮아 우수한 안정성을 온도조절기구 없이 실현
- 뛰어난 대진동 노이즈 성능

2. 콤팩트·저소비 전력
- 질량 200g, 사이즈 W46mm×H 49mm×L 106mm와 경량으로 컴팩트
- 소비 전력 0.5W
※ 질량과 크기는 접속구 NW16사양의 경우