개요

트랜스듀서 진공계 시리즈의 이온게이지입니다.이온게이지(열음극전리진공계)는 재현성, 리니어리티가 좋고 광범위한 압력측정이 가능하며 진공계로서 뛰어난 특징을 가지고 있습니다. 센서는 실적이 있는 미니어처 게이지(MG-2I Type)를 사용하고 있습니다.

용도

초고진공 대기압까지 각종 진공측정에 폭넓게 대응
(예)
- 일렉트로닉스·광학: 증착, 코팅, 전자빔마스크 묘화, 스패터링, 이온주입, MBE
- 분석: 전자현미경, SIMS, AES, XPS 외 각종 표면/가스/질량 분석
- 각종 공업:언닐,용해,땜,리플로,경화,전자빔용접,야금,분자증류,가스충전
- 고에너지 물리: 가속기, 사이클로트론

특징

1. 와이드한 압력 측정 범위
- 10-7Pa~10Pa까지 초고진공 측의 특성을 희생시키는 일 없이 스패터 프로세스를 넘는 저 진공 영역까지 측정 가능
2. 고응답 아날로그 출력
- 압력치의 아날로그 신호 출력은 100msec내로 높은 응답성을 확보하고 프로세스 압력 조절에도 사용 가능
3. 4개 에미션 전류 설정 모드
- 고압력 영역 측에서의 사용시의 필라멘트 수명 개선 등 용도에 맞게 선택이 가능