개요

대기압에서 1×10^-2Pa까지 넓은 범위에 걸쳐서 신뢰성의 높은 측정이 가능합니다. 수정진동자의 공진 임피던스가 압력에 따라 변화한다는 현상을 이용하고 있으므로 훨씬 재현성이 높고 또한 대기압 부근에서의 안정성 높은 측정이 가능합니다. 짬바의 대기압 벤트 검출용 압력 스위치로서 또한 프로세스 압력 측정 등에도 사용이 가능합니다.

특징

1. 넓은 측정 범위
대기압에서 1×10-2Pa까지 뛰어난 재현성으로 측정이 가능
2. 높은 안전성
크리스털 게이지는 열원(필라멘트)이 없는 진공계
3. 컴팩트, 초경량
컨트롤러부는 손바닥 크기이며, 질량은 200g으로 초경량 실현
※A-NET표시기 M‐ 390, M-391은 M-320XG 게이지 전용의 표시기입니다.
※싱글 채널 대응입니다.

용도

- 각종 진공장치의 배관 압력 측정
- 각종 프로세스의 압력 측정
- 챔버 Vent 등의 검출용 압력 스위치
- 기타 대기압에서 10-2Pa대까지의 압력 측정