진공 게이지 시리즈

Wide Range 전리진공계 M-431HGw

개요

미니어처 게이지 전용의 진공 모두 제어 전원기인 M-431HG입니다. 공간 절약, 경량화 Type입니다.

특징

1. CE마킹 대응
2. 외부 입출력, RS-232C통신 기능을 표준 채용
3. 입력 전압은 와이드 전압(M-431HG)
4. 저 소비 전력/DC 24V입력

용도

- 자동화 진공장치의 압력 측정
- SPutter 등의 프로세스 압력 측정, 제어
- 멀티챔버 시스템에서의 압력측정
- 일반 진공장치의 압력 측정