개요

다양한 게이지에 대응 가능한 풍부한 확장보드를 갖춘 가장 일반적인 B-A형 전리 진공계 시리즈입니다. 진공장치의 프로세스 컨트롤에 필요한 원격 조작 기능이나 Range hold 기능을 표준으로 갖추고 있습니다. CC-Link로 통신 제어를 할 수 있는 타입도 준비되어 있습니다. M-823HG에서 대기압에서 고진공 영역까지 1대로 대응이 가능합니다.

특징

1. 압력 Range의 자동 선택
2. 압력 및 여러가지 메시지의 화면 표시
3. 풍부한 외부 제어 기능으로 완벽한 원격 조작이 가능
4. 세트 포인트를 2점 장착한 표준 장비

용도

- 자동화 진공장치의 압력 계측 - 스퍼터 등의 프로세스 압력 측정, 제어 - 멀티챔버 시스템에서의 압력측정 - 일반 진공장치의 압력 측정