슐츠 게이지 LG-11S

100Pa~ 10^-2Pa사이의 압력 측정용 전리 진공계 측정구입니다. LG-11S필라멘트에는 토리아 코트 이리듐선을 이용하고 있으므로 사용 온도가 낮아 그만큼 오랜 수명에 사용할 수 있습니다. 진공 장치와의 접속은 φ 15어댑터를 이용하거나 φ 70ICF 유리 어댑터에 유리 봉하여 가능합니다.

B-A 게이지 UGD-1S

10^-2Pa대 이하의 압력 측정용 유리관형 B-A형 전리 진공계 측정구입니다. UGD-1S는 코발 유리 밀봉의 B-A게이지입니다. 그리드는 텅스텐 선으로, 통전 가열으로 가스를 낼 수 있습니다. 따라서 가스 추출 중에서도 압력 측정이 가능합니다.

Wide range B-A 게이지 BRG-1B

고압측의 측정범위를 넓힌 B-A게이지입니다.가스 측정 방식은 UGD-1S와 마찬가지 그리드 연결 방식을 채용하고 있습니다. 필라멘트는 특히 고압측정을 고려하여, 트리아 코트 이리듐선을 채용하고 있습니다. 진공 장치와의 접속은 φ 15어댑터를 이용하거나 φ 70ICF자 유리 어댑터에 유리 봉하여 가능합니다.

누드 이온 게이지 NIG-2F / NIG-2TF

B-A형 전극을 플랜지에 직접 마운트 한 게이지입니다.이대로 장치에 부착하며 도관에 의한 오차가 없어 초고진공 측정에 적합합니다.그리드에는 백금 클래드 몰리브덴선을 이용하고 있기 때문에 가스 오염으로 인한 오차를 극소하게 하고 있습니다. NIG-2F는 텅스텐 필라멘트를 사용하고 있습니다.또 NIG-2TF는 이트리아 코트 필라멘트를 사용하고 저 온도화하고 가스 방출을 억제하며 초고진공의 측정이 가능합니다.

피라니 게이지 PG-150

대기에서 사용할 수 있는 φ 15어댑터에서 설치합니다. (표준 내열 온도 80℃) Bake 가능 Type의 피라니게이지도 준비되어 있습니다. (최대 가열 온도 200℃, 단 커넥터 해제 시)

Thermocouple 게이지 TG-550C

대기에서 사용이 가능하고 φ 15어댑터로 설치 가능.(최대 가열 온도 150℃ 단 커넥터 해제 시)