| 사업 영역 및 기술력

Q. Canon은 카메라만 다루는 줄 알았는데, 반도체 산업에서의 역할도 알려주세요.

Canon은 일반적으로 카메라 제조 기업으로 잘 알려져 있지만, 실제로는 카메라 관련 Imaging Group 외에도 Industrial Group, Printing Group, Medical Group 등 다양한 사업 영역을 보유하고 있습니다.

이 중 Industrial Group은 1970년대부터 반도체 장비를 개발·제조해온 핵심 사업 부문으로, 현재는 노광 공정뿐 아니라 성막, Bonding, Cutting 등 반도체 제조 전반에 걸친 공정의 생산 시스템을 제공하고 있습니다.

Canon Semiconductor Engineering Korea는 일본 Canon Group에서 생산, 판매하는 반도체 제조장비와 Display 분야의 제조장비를 국내 및 해외 반도체, Display 고객사에 설치 및 유지/보수 서비스 업무를 수행하고 있습니다.

Q. 캐논이 반도체 패키징까지 간다는 것에 대해 궁금해요.

캐논이 보유한 '정밀 광학' 기술은 반도체 제조 공정에서 매우 중요한 핵심 기술이며, 글로벌 시장에서도 경쟁력을 인정받고 있습니다.

이러한 기술적 기반을 바탕으로 시장이 패키징 분야로 발전함에 따라, 캐논 역시 자연스럽게 기술 영역을 패키징 분야까지 확장하였습니다.

특히 여러 글로벌 고객들이 캐논의 패키징 관련 생산 지원 능력을 높이 평가하여, 관련 어워드를 수상한 사례도 있습니다.

Q. 대부분 하이엔드 공정에서는 스캐너를 이용한다고 배웠는데, 스텝퍼를 주력으로 하는 것 같아 그 이유가 궁금합니다.

Canon은 스캐너와 스텝퍼 모두를 주력 설비로 보유하고 있습니다.
극도로 미세한 선폭과 오버레이 정밀도가 요구되는 최첨단 로직 공정에서는 스캐너가 유리합니다.

반면 패키징, 파워, 센서, 디스플레이 등 다양한 응용 분야에서는 공정 목적과 요구 사양이 매우
다양하기 때문에 스캐너와 스텝퍼가 공정·레이어별로 각각 선택되어 사용됩니다.

즉, 해상도와 정렬 정밀도가 최우선인 공정에서는 스캐너가, 비교적 큰 패턴·다양한 기판 대응·
공정 유연성이 중요한 경우에는 스텝퍼가 합리적인 선택이 됩니다.

Q. Canon 장비와 앞으로의 개발 계획이 궁금해요.

캐논의 장비는 크게 5가지로 설명할 수 있습니다.

  1. 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 위에 회로 패턴을 전사하는 반도체 노광장비
  2. 디스플레이 패널 제조 시 Glass에 회로 패턴을 전사하는 FPD 노광장비
  3. OLED를 제작하기 위하여 유기물 증착, 패터닝을 수행하는 유기EL Display 제조장비
  4. 반도체, 디스플레이 공정에서 박막을 형성하기 위한 진공·성막 가공장비
  5. 상기의 장비들에서 나노 단위 패턴 정합을 가능하게 하는 정밀 광학 컴포넌트

캐논은 현재 주력으로 하고 있는 KrF, i-line 기반 장비뿐 아니라 나노임프린트(NIL), IAP 같은 차세대 리소그래피 기술과 첨단 패키징 대응 장비를 지속적으로 강화하고 있습니다. 앞으로도 더 진보된 기술에 도전해 나갈 캐논에 많은 관심을 부탁드립니다.

각 분야별 설비와 개발 계획에 대한 자세한 정보는 아래 링크에서 확인해주세요.

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