제품개요

초정밀 가공기술의 Key Component로서 개발된 CANON Air Bearing은 특수구조로 인해 유례없는 회전정도, 고강성, 고내구성을 겸비하고 있습니다.

제품특징

- 축받이에 다공질 초크를 채용하여, Air Gap 5㎛를 실현했습니다.
- Air 소비량이 적으므로 Compressor의 소형화가 가능하여, 경제적입니다.
- 회전정도가 0.05㎛이하이며, 회전중심에 걸리는 회전정도의 재현성 0.01㎛이하로 반영구적으로 유지가능합니다.

운동정도, 재현성비교

Air Bearing의 회전정도는 0.05㎛ 이하로, Ball Bearing와 비교하여 절대적으로 고정도인 것을 알 수 있습니다. 게다가 고정도를 요구될 때 중요한 재현성이 0.01㎛이하이며, 반영구적으로 유지가 가능합니다. Canon Air Bearing은 축받이에 다공질 초크를 사용하여, 통상의 공장 공기압 (490kpa)라도 범용적으로 사용하여 충분한 강성을 얻을 수 있고, orifice초크와 자성초크를 이용한 축받이에 비해서, 단위면적당의 강성이 높고, 소비유량이 10배 가까이 적으며, 또한 다른 초크방식에 비교해서 감쇠능도 높은 특징을 가지고 있습니다.

응용 예

- HDD, 광Disk용 Spinstand
- Polygon Mirror 등의 검사장비
- 연삭, 절삭 등의 공작기계용 주축
- 고정도의 회전 Table, 분할θ테이블

에어베어링 (소형사이즈)

- 서브미크론을 초월한 회전 정도, 고강성, 고내구성등 뛰어난 특성을 갖는 에어베어링
- RV타입은 VACUUM사양입니다. 배기구로 흡인하는 것으로 THRUST PLATE면으로 흡착 기구가 이용가능하게 됩니다.

에어베어링 (대형사이즈)

부하 용량이 큰 로터리 연소판 및 원통 연소판 등의 공작 기계에 넓게 이용되고 있습니다. 또는 큰 기계·중량물 설계용 회전 테이블로서도 이용되고 있습니다.