진공성막 가공장비
오랜 세월 쌓아온 진공 기술과 박막 기술을 바탕으로 개발한 각종 장치를 제공합니다. 반도체 제조라인에 사용되는 신뢰성 높은 스퍼터링 장치를 개발・제조하며 LED 및 파워디바이스를 비롯한 차세대 기술 연구, 부품 개발부터 생산까지 캐논 아넬바의 다양한 장치 라인업이 서포트합니다.
반도체 디바이스 제조장비
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메탈 게이트 형성용 스퍼터링 장비 (FC7100)
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메모리 배선용 스퍼터링 장비 (IC7500)
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메모리 배선용 스퍼터링 장비 (IC7200)
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실장용 스퍼터링 장비 (IC7400)
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MRAM용 스퍼터링 장비(EC7800)
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MRAM용 스퍼터링 장비(NC7900)
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MRAM용 드라이 에칭 장비(EC8000)
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MRAM용 드라이 에칭 장비(NC8000)
전자 부품 제조 장비 연구개발・소규모 생산 장비
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원자 확산 접합 장비 BC7000
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연구 개발용 스퍼터링 장비 EB1000
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연구 개발・소규모 생산용 스퍼터링 장비 EB1100
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소규모 생산용 스퍼터링 장비 EC7000
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LED 생산용 스퍼터링 장비 EL3000
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SiC 활성화용 어닐 장비 EC7200(EBAS)
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전자부품 생산용 스퍼터링 장비 EC7400
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LED 생산용 스퍼터링 장비 EC8100
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전자부품 생산용 인라인식 스퍼터링 장비 EL3200
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고밀도 실장향 스퍼터링 장비 EL3400