개요

저진공 영역의 측정에는 뛰어난 재현성과 응답성을 가진 크리스털 게이지, 고진공 영역에는 오랜 실적을 자랑하는 미니어처 B-A 게이지를 채택한 콤비네이션 게이지입니다.대기압에서 초고진공까지 넓은 압력 영역을 1대로 측정할 수 있습니다.

용도

진공장치의 Roughing line, 도달 압력 측정, 반도체·전자부품 제조장치의 압력 측정 등.

특징

1. 크리스탈 게이지와 미니어처 B-A게이지를 조합한 콤비네이션 게이지
2. 초고진공에서 대기압까지 측정 가능
3. 고정밀, 저진공 영역에서 뛰어난 재현성