FPD露光装置

FPD製造で最も重要な工程といえば、設計した回路パターンをGlassに転写するリソグラフィ(Lithography) 工程です。 キヤノンでは各世代別の多様な製品生産が可能な露光装置を保有しており、LCD及びOLED Panel製造工程装置としてDisplay業界に貢献しております。これからも高機能・高生産性を有するMPAシリーズでSupportし続けます。

第6世代

第8世代