반도체 노광장비

반도체 제조에서 가장 중요한 공정이라 하면, 설계한 회로패턴을 웨이퍼에 전사하는 리소그라피(Lithography) 공정입니다. 캐논에서는 각 광원별 노광장비를 보유하고 있어, 다양한 회로 선폭의 노광이 가능합니다. 또한, 메모리 및 각종 로직 디바이스뿐만 아니라, 재배선 및 TSV공정에서도 사용이 가능한 장비를 보유하고 있어서, 반도체 리소그라피(Lithography) 공정 대부분의 영역에 있어 고객 대응을 하고 있습니다.

KrF Scanner/Stepper

i-line Stepper(전공정용)

i-line Stepper(후공정용)